mems芯片是什么?mems芯片是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内，比它更小的，在纳米范围类似的技术被称为纳机电系统。MEMS最初大量用于汽车安全气囊，而后以M
mems即微机电系统（英语：MicroelectromechanicalSystems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米
十三所是中国成立时间最早、规模最大、技术力量相对雄厚、专业结构配套的综合性半导体研究所。十三所主要涉及微电子、光电子和微机械电子系统(MEMS)等三大领域，是硕士和博士学位授予单位。取得过2420项科
